往復(fù)式真空泵（簡稱往復(fù)泵）又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設(shè)備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，運轉(zhuǎn)時振動較大等。其在很多場合可由液環(huán)式真空泵所取代。  

往復(fù)式真空泵的工作原理：

　　往復(fù)泵的結(jié)構(gòu)和工作原理如圖所示，主要部件有氣缸1及在其中做往復(fù)直線運動的活塞2，活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。

　　運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進入泵體左腔。當(dāng)活塞達到最右位置時，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當(dāng)活塞再左向右運動時，又重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，被抽容器內(nèi)最終達到某一穩(wěn)定的平衡壓力。

　　為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來。