在線詢價數(shù)字式氣體質量流量控制器 微小氣體質量控制器 流量定量控
產品概述
數(shù)字式氣體質量流量控制器是一種高精度氣體流量測控設備，采用熱式或毛細管傳熱原理，直接測量氣體的質量流量，無需進行溫度和壓力補償。該產品適用于微小流量控制場景，如半導體、光伏、化工、生物醫(yī)藥等領域，能夠實現(xiàn)流量的快速響應和穩(wěn)定調節(jié)。其核心優(yōu)勢包括高重復性、低零漂以及寬量程比，可滿足不同氣體介質的精確控制需求。
技術特點
該控制器采用全數(shù)字架構，支持0-5V、4-20mA或RS485通訊信號，便于集成到自動化系統(tǒng)中。傳感器部分采用耐腐蝕材質（如316L不銹鋼），適用于空氣、氮氣、氫氣等常見氣體，部分型號還可兼容腐蝕性介質。工作壓差范圍通常為0.05~0.3MPa，響應時間可控制在1秒以內，確保流量調節(jié)的實時性。此外，產品設計緊湊，安裝時對直管段要求低，操作界面友好，支持本地數(shù)顯或遠程監(jiān)控。
應用場景
廣泛應用于科研實驗、環(huán)境監(jiān)測、材料制備等領域。例如，在半導體工藝中用于刻蝕氣體流量控制，在燃料電池中調節(jié)氫氧比例，或在實驗室中實現(xiàn)氣體混合配比。產品支持定制化量程（如0~10SCCM至2000SLM），用戶可根據(jù)實際需求選擇合適規(guī)格。內置的閉環(huán)控制算法能有效抑制壓力波動對流量的影響，確保長期穩(wěn)定性。
使用與維護
建議在進氣端加裝過濾器以保持氣體潔凈，避免粉塵或液體進入控制器。安裝時需確保工作壓差在標定范圍內，否則可能影響控制精度。產品提供零點自校功能，可通過簡單操作消除微小漂移。日常維護僅需定期檢查氣路密封性，無需復雜校準。
服務支持
我們提供詳細的技術參數(shù)說明和操作指南，用戶可通過在線渠道獲取實時報價與產品咨詢。根據(jù)應用需求，可靈活選擇模擬或數(shù)字信號輸出型號，并支持非標定制服務，如特殊氣體標定或耐高壓設計。
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上海雙旭電子有限公司
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